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Die Oberflächeneigenschaften sind ein Hauptproblem bei der Herstellung von MEMS-Komponenten wie Siliziumsensoren, Mikroaktuatoren oder mikrofludischen Bauteilen. Darüber hinaus sind dieselben Phänomene ein begrenzender Faktor für die Zuverlässigkeit und Lebensdauer dieser Komponenten.
Das Gasphasen-SAM-Beschichtungsverfahren (Self-Assembling Monolayers) für Mikrokomponenten reduziert oder eliminiert adhäsionsbedingte Phänomene. Wesentlich für die industrielle Verwendung von hydrophoben SAM-basierten Beschichtungen ist das Vorhandensein eines Verfahrens, das geeignet ist, in eine industrielle Umgebung zur Herstellung großer Mengen (Serienproduktion) integriert zu werden. microfab hat einen solchen Prozess entwickelt und bietet diesen zur Oberflächenmodifikation an.