Mems Technologie

Unsere Erfahrung für Ihre Produkte

Unsere Fähigkeit, eine schnelle, zuverlässige, flexible und unkomplizierte Umsetzung neuer Ideen sicherzustellen, beruht auf unserem breiten Spektrum an Produktionstechnologien, modernsten Einrichtungen und detaillierten Prozesskenntnissen.

Wir bieten eine unübertroffene Grundlage für Wissen und Erfahrung, eine nahtlose Integration vom Design bis zur Herstellung und Technologien, die in der MEMS-Welt einzigartig sind. Unsere Fähigkeit, eine schnelle, zuverlässige, flexible und unkomplizierte

Die Volumen-Mikromechanik oder auch das Bulk Micromachining (BMM) beschreibt einen Herstellungsprozess, bei dem unter Ausnutzung aller drei Raumdimensionen Strukturen erzeugt werden.

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Oberflächenmikrobearbeitung ist die Herstellung mikromechanischer Strukturen durch Abscheidung und Ätzen dünner Struktur- und Opferschichten.

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Die Oberflächeneigenschaften sind ein Hauptproblem bei der Herstellung von MEMS-Komponenten wie Siliziumsensoren, Mikroaktuatoren oder mikrofludischen Bauteilen.

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HOW CAN MICROFAB HELP

microfab wendet gut etablierte Technologien für die Waferbearbeitung und Herstellung von kundenbasierten MEMS / Mikrosystemen an, wie z. B. Volumenmikromechanik einschließlich Siliziumtiefenätzen (DRIE), Oberflächenmikromechanik auf der Basis spannungsgesteuerter LPCVD-Schichten, Waferbonden (anodisch und Silizium direkt) oder Galvanisierung von Gold und andere Metalle und Legierungen.

STANDARD MEMS Prozesse

Bitte sprechen Sie uns an, wenn wir Ihnen unsere Standard MEMS Prozesse einmal auf Ihre Applikation angepasst vorstellen dürfen.

Für weitere Informationen und Details zögern Sie bitte nicht unser Team zu kontaktieren.

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